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用區(qū)熔拉晶法和光譜分析法評價多晶硅棒的規(guī)程

國家標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)編號:GB/T 29057-2023 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài):現(xiàn)行
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標(biāo)準(zhǔn)簡介
本文件規(guī)定了多晶硅棒取樣、將樣品區(qū)熔拉制成單晶以及通過低溫紅外光譜法或光致發(fā)光光譜法對拉制好的單晶硅棒進(jìn)行分析以確定多晶硅中施主、受主、代位碳和間隙氧雜質(zhì)含量等的規(guī)程。本文件適用于評價硅芯上沉積生長的棒狀多晶硅。
英文名稱:  Practice for evaluation of polocrystalline silicon rods by float-zone crystal growth and spectroscopy
什么是替代情況? 替代情況:  替代GB/T 29057-2012
什么是中標(biāo)分類? 中標(biāo)分類:  冶金>>半金屬與半導(dǎo)體材料>>H80半金屬與半導(dǎo)體材料綜合
什么是ICS分類?  ICS分類:  冶金>>77.040金屬材料試驗(yàn)
發(fā)布部門:  國家市場監(jiān)督管理總局 國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
發(fā)布日期:  2023-08-06
實(shí)施日期:  2024-03-01
提出單位:  全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC 203)、全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會材料分技術(shù)委員會(SAC/TC 203/SC 2)
什么是歸口單位? 歸口單位:  全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC 203)、全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會材料分技術(shù)委員會(SAC/TC 203/SC 2)
起草單位:  青海黃河上游水電開發(fā)有限責(zé)任公司新能源分公司、有色金屬技術(shù)經(jīng)濟(jì)研究院有限責(zé)任公司、亞洲硅業(yè)(青海)股份有限公司、洛陽中硅高科技有限公司、四川永祥新能源有限公司、新疆大全新能源股份有限公司、江蘇中能硅業(yè)科技發(fā)展有限公司、新疆新特新能材料檢測中心有限公司等
起草人:  秦榕、薛心祿、李素青、王志強(qiáng)、萬燁、賀東江、岳崢、張孝山、趙生良、郭光偉、陳雪剛、于生海、鄧遠(yuǎn)紅、王彬、邱艷梅、徐巖、劉國霞、萬首正、田洪先、劉文明、趙小飛、梁洪、趙娟龍
頁數(shù):  16頁
出版社:  中國標(biāo)準(zhǔn)出版社
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