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| 英文名稱： |
Test method for micropipe density of monocrystalline silicon carbide |
 替代情況： |
替代GB/T 30868-2014;GB/T 31351-2014 |
| 中標(biāo)分類： |
冶金>>金屬理化性能試驗(yàn)方法>>H21金屬物理性能試驗(yàn)方法 |
| ICS分類： |
冶金>>77.040金屬材料試驗(yàn) |
| 發(fā)布部門： |
國家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局 國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì) |
| 發(fā)布日期： |
2025-08-01 |
| 實(shí)施日期： |
2026-02-01
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| 提出單位： |
全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC 203)、全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)材料分技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC 203/SC 2) |
| 歸口單位： |
全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC 203)、全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)材料分技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC 203/SC 2) |
| 起草單位： |
中國電子科技集團(tuán)公司第四十六研究所、北京天科合達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司、山東天岳先進(jìn)科技股份有限公司、廣東天域半導(dǎo)體股份有限公司、有色金屬技術(shù)經(jīng)濟(jì)研究院有限責(zé)任公司、安徽長飛先進(jìn)半導(dǎo)體股份有限公司、浙江晶瑞電子材料有限公司、南京盛鑫半導(dǎo)體材料有限公司等 |
| 起草人： |
姚康、許蓉、佘宗靜、何烜坤、王英明、張紅巖、齊菲、丁雄杰、李素青、劉小平、歐陽鵬根、潘文賓、晏陽、王志勇、王明華、胡潤光、李明達(dá)、張超越、孫毅、趙麗麗、趙新田、陳基生 |
| 頁數(shù)： |
12頁 |
| 出版社： |
中國標(biāo)準(zhǔn)出版社 |