硅材料原生缺陷圖譜 |
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| 標(biāo)準(zhǔn)編號(hào)：GB/T 30453-2013 |
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行 |
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| 標(biāo)準(zhǔn)價(jià)格：138.0 元 |
客戶評(píng)分：  |
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本標(biāo)準(zhǔn)有現(xiàn)貨可當(dāng)天發(fā)貨一線城市最快隔天可到！ |
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本標(biāo)準(zhǔn)給出了硅多晶、硅單晶、硅片和硅外延片等硅材料的各種原生缺陷及其密切相關(guān)誘生缺陷的術(shù)語及其形貌特征圖譜。分析了其產(chǎn)生的原因和消除方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于硅多晶、硅單晶、硅片和硅外延片等硅材料生產(chǎn)研究中各種缺陷的檢驗(yàn)。硅器件、集成電路的生產(chǎn)研究也可參考本標(biāo)準(zhǔn)。 |
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| 英文名稱： |
Metallographs collection for original defects of crystalline silicon |
 中標(biāo)分類： |
冶金>>半金屬與半導(dǎo)體材料>>H80半金屬與半導(dǎo)體材料綜合 |
| ICS分類： |
電氣工程>>29.045半導(dǎo)體材料 |
| 發(fā)布部門： |
中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì) |
| 發(fā)布日期： |
2013-12-31 |
| 實(shí)施日期： |
2014-10-01
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| 提出單位： |
全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)材料分會(huì)(SAC/TC 203/SC 2) |
| 歸口單位： |
全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)材料分會(huì)(SAC/TC 203/SC 2) |
| 主管部門： |
全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)材料分會(huì)(SAC/TC 203/SC 2) |
| 起草單位： |
有研半導(dǎo)體材料股份有限公司、東方電氣集團(tuán)峨眉半導(dǎo)體材料有限公司、南京國盛電子有限公司、杭州海納半導(dǎo)體有限公司、萬向硅峰電子股份有限公司、四川新光硅業(yè)科技有限責(zé)任公司、陜西天宏硅材料有限責(zé)任公司、中國有色金屬工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)計(jì)量質(zhì)量研究所 |
| 起草人： |
孫燕、曹孜、翟富義、楊旭、譚衛(wèi)東、黃笑容、樓春蘭、王飛堯、石宇、劉云霞、陳赫、梁洪、羅莉萍、李詠梅、齊步坤、李慧、向磊 |
| 頁數(shù)： |
88頁【彩圖】 |
| 出版社： |
中國標(biāo)準(zhǔn)出版社 |
| 出版日期： |
2014-10-01 |
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本標(biāo)準(zhǔn)按照 GB/T1.1—2009制定的規(guī)則起草。
本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)材料分會(huì)(SAC/TC203/SC2)提出并歸口。
本標(biāo)準(zhǔn)起草單位:有研半導(dǎo)體材料股份有限公司、東方電氣集團(tuán)峨眉半導(dǎo)體材料有限公司、南京國盛電子有限公司、杭州海納半導(dǎo)體有限公司、萬向硅峰電子股份有限公司、四川新光硅業(yè)科技有限責(zé)任公司、陜西天宏硅材料有限責(zé)任公司、中國有色金屬工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)計(jì)量質(zhì)量研究所。
本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人:孫燕、曹孜、翟富義、楊旭、譚衛(wèi)東、黃笑容、樓春蘭、王飛堯、石宇、劉云霞、陳赫、梁洪、羅莉萍、李詠梅、齊步坤、李慧、向磊。 |
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前言 Ⅲ
1 范圍 1
2 規(guī)范性引用文件 1
3 術(shù)語和定義 1
4 硅多晶結(jié)構(gòu)的不完整性 1
5 硅單晶晶體缺陷 4
6 硅片加工缺陷 9
7 硅外延片缺陷 11
附錄 A (資料性附錄) 氫致缺陷圖 76
索引 79 |
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下列文件對(duì)于本文件的應(yīng)用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。
GB/T1554 硅晶體完整性化學(xué)擇優(yōu)腐蝕檢驗(yàn)方法
GB/T4058 硅拋光片氧化誘生缺陷的檢驗(yàn)方法
GB/T14264 半導(dǎo)體材料術(shù)語 |
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