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| 英文名稱： |
Test method for measuring diameter of monocrystalline silicon carbide wafers |
| 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)： |
已作廢 |
 替代情況： |
被GB/T 14140-2025代替 |
| 中標(biāo)分類： |
冶金>>半金屬與半導(dǎo)體材料>>H83化合物半導(dǎo)體材料 |
| ICS分類： |
電氣工程>>29.045半導(dǎo)體材料 |
| 發(fā)布部門： |
中華人民共和國(guó)國(guó)家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì) |
| 發(fā)布日期： |
2014-07-24 |
| 實(shí)施日期： |
2015-02-01
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| 作廢日期： |
2026-02-01
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| 提出單位： |
全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC203)及材料分技術(shù)委員會(huì) |
| 歸口單位： |
全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)(SAC/TC203)及材料分技術(shù)委員會(huì) |
| 起草單位： |
中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十六研究所、中國(guó)電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院 |
| 起草人： |
丁麗、周智慧、藺嫻、郝建民、何秀坤、劉筠、馮亞彬、裴會(huì)川 |
| 頁數(shù)： |
8頁 |
| 出版社： |
中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社 |
| 出版日期： |
2015-02-01 |