電子工業(yè)用氣體 氬 |
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| 標準編號：GB/T 16945-1997 |
標準狀態(tài)：已作廢 |
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| 標準價格：28.0 元 |
客戶評分：  |
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本標準規(guī)定了電子工業(yè)用氬的技術要求、試驗方法和包裝、標志。本標準適用于以深冷法從空氣、合成氨尾氣中提取的液態(tài)氬和氣態(tài)氬。 |
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| 英文名稱： |
Gases for electronic industry--Argon |
| 標準狀態(tài)： |
已作廢 |
 替代情況： |
被GB/T 16945-2009代替 |
| 中標分類： |
化工>>其他化工產(chǎn)品>>G86工業(yè)氣體與化學氣體 |
| ICS分類： |
化工技術>>化工產(chǎn)品>>71.100.20工業(yè)氣體 |
| 采標情況： |
≡SEMI C3.46-93 |
| 發(fā)布部門： |
國家技術監(jiān)督局 |
| 發(fā)布日期： |
1997-08-13 |
| 實施日期： |
1998-05-01
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| 作廢日期： |
2010-05-01
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| 首發(fā)日期： |
1997-08-13 |
| 復審日期： |
2004-10-14 |
| 歸口單位： |
全國半導體材料和設備標準化技術委員會 |
| 主管部門： |
國家標準化管理委員會 |
| 起草單位： |
化學工業(yè)部西南化工研究院 |
| 頁數(shù)： |
平裝16開， 頁數(shù)：6， 字數(shù)：7千字 |
| 出版社： |
中國標準出版社 |
| 書號： |
155066.1-14393 |
| 出版日期： |
2004-04-11 |
| 標準前頁： |
瀏覽標準前文 || 下載標準前頁 |
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