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國家標(biāo)準(zhǔn)(GB)
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電子工業(yè)用氣體 氮
標(biāo)準(zhǔn)編號:
GB/T 16944-1997
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài):
已作廢
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28.0
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標(biāo)準(zhǔn)簡介
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用液態(tài)和氣態(tài)氮的技術(shù)要求、檢驗方法以及包裝、標(biāo)志等,適用于從分離空氣或氨還原法制得的氮,在超大規(guī)模集成電路制造中用作凈化、覆蓋、保護、加壓,也用于化學(xué)氣相淀積時的載氣等。
英文名稱:
Gases for electronic industry--Nitrogen
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài):
已作廢
替代情況:
被
GB/T 16944-2009
代替
中標(biāo)分類:
化工
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G86工業(yè)氣體與化學(xué)氣體
ICS分類:
化工技術(shù)
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化工產(chǎn)品
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71.100.20工業(yè)氣體
采標(biāo)情況:
≡SEMI C3.28-92
發(fā)布部門:
國家技術(shù)監(jiān)督局
發(fā)布日期:
1997-08-13
實施日期:
1998-05-01
作廢日期:
2010-05-01
首發(fā)日期:
1997-08-13
復(fù)審日期:
2004-10-14
歸口單位:
全國半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會
主管部門:
國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
起草單位:
化學(xué)工業(yè)部西南化工研究院
頁數(shù):
平裝16開, 頁數(shù):6, 字?jǐn)?shù):6千字
出版社:
中國標(biāo)準(zhǔn)出版社
書號:
155066.1-14392
出版日期:
2004-04-11
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