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國家標(biāo)準(zhǔn)(GB)
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微米級長度的掃描電鏡測量方法
標(biāo)準(zhǔn)編號：
GB/T 16594-1996
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：
已作廢
標(biāo)準(zhǔn)價(jià)格：
28.0
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標(biāo)準(zhǔn)簡介
本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用掃描電鏡測量微米級長度的方法，適用于測量0.5～10μm的長度，也適用于電子探針分析儀測量微米級長度。
英文名稱：
Micron grade lenght measurement by SEM
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：
已作廢
替代情況：
被
GB/T 16594-2008
代替
中標(biāo)分類：
儀器、儀表
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光學(xué)儀器
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N33電子光學(xué)與其他物理光學(xué)儀器
ICS分類：
計(jì)量學(xué)和測量、物理現(xiàn)象
>>
長度和角度測量
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17.040.01長度和角度測量綜合
發(fā)布部門：
國家技術(shù)監(jiān)督局
發(fā)布日期：
1996-01-01
實(shí)施日期：
1997-04-01
作廢日期：
2009-05-01
首發(fā)日期：
1996-11-04
復(fù)審日期：
2004-10-14
歸口單位：
全國微束分析標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會
主管部門：
國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
起草單位：
上海市測試技術(shù)研究所
頁數(shù)：
平裝16開， 頁數(shù)：6， 字?jǐn)?shù)：6千字
出版社：
中國標(biāo)準(zhǔn)出版社
書號：
155066.1-13653
出版日期：
2004-04-10
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