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| 英文名稱： |
Test method for measuring warp on silicon slices by noncontact scanning |
| 標準狀態(tài)： |
已作廢 |
 替代情況： |
替代GB 6620-1986;被GB/T 6620-2009代替 |
| 中標分類： |
冶金>>金屬理化性能試驗方法>>H21金屬物理性能試驗方法 |
| ICS分類： |
29.040.30 |
| UDC分類： |
669.782-415;620.173.26 |
| 采標情況： |
＝ASTM F657-91 |
| 發(fā)布部門： |
國家技術監(jiān)督局 |
| 發(fā)布日期： |
1995-04-18 |
| 實施日期： |
1995-01-02
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| 作廢日期： |
2010-06-01
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| 首發(fā)日期： |
1986-07-26 |
| 復審日期： |
2004-10-14 |
| 歸口單位： |
全國半導體材料和設備標準化技術委員會 |
| 主管部門： |
國家標準化管理委員會 |
| 起草單位： |
電子部標準化所 |
| 頁數： |
平裝16開， 頁數：7， 字數：10千字 |
| 出版社： |
中國標準出版社 |
| 標準前頁： |
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