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標(biāo)準(zhǔn)編號(hào)：GB/T 6619-1995	標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：已作廢

標(biāo)準(zhǔn)價(jià)格：28.0 元	客戶評(píng)分：

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標(biāo)準(zhǔn)簡介

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了硅單晶切割片、研磨片、拋光片彎曲度的接觸式測量方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于測量直徑大于50mm，厚度為200～1000μm的圓形硅片的彎曲度。本標(biāo)準(zhǔn)也適用于測量其他半導(dǎo)體圓片彎曲度。


英文名稱：	Test methods for bow of silicon slices
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：	已作廢
替代情況：	替代GB 6619-1986;被GB/T 6619-2009代替
中標(biāo)分類：	冶金>>金屬理化性能試驗(yàn)方法>>H21金屬物理性能試驗(yàn)方法
ICS分類：	29.040.30
UDC分類：	669.782-415;620.173.26
采標(biāo)情況：	＝ASTM F534-91
發(fā)布部門：	國家技術(shù)監(jiān)督局
發(fā)布日期：	1995-04-18
實(shí)施日期：	1995-01-02
作廢日期：	2010-06-01
首發(fā)日期：	1985-06-17
復(fù)審日期：	2004-10-14
歸口單位：	全國半導(dǎo)體材料和設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
主管部門：	國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位：	電子部標(biāo)準(zhǔn)化所
頁數(shù)：	平裝16開，頁數(shù)：7，字?jǐn)?shù)：10千字
出版社：	中國標(biāo)準(zhǔn)出版社
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ZC 0010-2006 采用公歷標(biāo)示日期的規(guī)范(試行)
ZC 0011-2006 專利費(fèi)用基本信息代碼規(guī)范(試行)
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ZC 0012.2-2006 專利數(shù)據(jù)元素標(biāo)準(zhǔn)第2部分:關(guān)于用XML處理中國發(fā)明、實(shí)用新型專利文獻(xiàn)數(shù)據(jù)的暫行辦法
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