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標(biāo)準(zhǔn)編號：GB/T 11446.9-1997	標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：已作廢

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標(biāo)準(zhǔn)簡介

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子級水中微粒的儀器測定方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子級水中微粒的連續(xù)式或單次檢測計數(shù)，測定的粒徑大于或等于0.5μm，微粒的濃度為(0～10 000)個/mL。


英文名稱：	Test method for particles in electronic grade water by instrument
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：	已作廢
替代情況：	GB 11446.9-1989;被GB/T 11446.9-2013代替
中標(biāo)分類：	電子元器件與信息技術(shù)>>電子設(shè)備專用材料、零件、結(jié)構(gòu)件>>L90電子技術(shù)專用材料
ICS分類：	31.030
采標(biāo)情況：	,
發(fā)布部門：	國家技術(shù)監(jiān)督局
發(fā)布日期：	1997-09-01
實施日期：	1998-09-01
作廢日期：	2014-08-15
首發(fā)日期：	1989-06-22
復(fù)審日期：	2004-10-14
歸口單位：	信息產(chǎn)業(yè)部（電子）
主管部門：	信息產(chǎn)業(yè)部（電子）
起草單位：	中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所
頁數(shù)：	2頁
出版社：	中國標(biāo)準(zhǔn)出版社
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ZC 0011-2006 專利費用基本信息代碼規(guī)范(試行)
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軸一致。自由阻抗的I>X h
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