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半導(dǎo)體用正膠顯影液

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)編號(hào):T/CEMIA 030-2022 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài):現(xiàn)行
標(biāo)準(zhǔn)價(jià)格:22.0 客戶(hù)評(píng)分:星星星星1
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標(biāo)準(zhǔn)簡(jiǎn)介
本文件規(guī)定了半導(dǎo)體用正膠顯影液的分類(lèi)和標(biāo)記、要求、檢驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則以及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存和安全。
本文件適用于半導(dǎo)體用正膠顯影液,其主要組分為通過(guò)季銨鹽化合物電解制得的四甲基氫氧化銨。
四甲基氫氧化銨的基本信息見(jiàn)附錄A中的A.1。
英文名稱(chēng):  Positive photoresist developer for semiconductor manufacture
什么是中標(biāo)分類(lèi)? 中標(biāo)分類(lèi):  電子元器件與信息技術(shù)>>電子設(shè)備專(zhuān)用材料、零件、結(jié)構(gòu)件>>L90電子技術(shù)專(zhuān)用材料
什么是ICS分類(lèi)?  ICS分類(lèi):  31.030
發(fā)布部門(mén):  中國(guó)電子材料行業(yè)協(xié)會(huì)
發(fā)布日期:  2022-04-20
實(shí)施日期:  2022-07-20
提出單位:  中國(guó)電子材料行業(yè)協(xié)會(huì)
什么是歸口單位? 歸口單位:  中國(guó)電子材料行業(yè)協(xié)會(huì)
起草單位:  杭州格林達(dá)電子材料股份有限公司
起草人:  邢攸美、李瀟逸、張之鈞、趙健、胡濤、李盈盈、陳東良、顧峻、徐文干、孫煒、劉新雨、王琪、周利超、李林佳、余紅剛、倪蕓嵐、陳海剛、楊小平、章帥迪、劉永南、姚藝融、劉為波、翁雪平、傅華、高小云
頁(yè)數(shù):  16頁(yè)
出版社:  中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)出版社
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